Spurenanalytik und Qualitätssicherung von Halbleitermaterialien

Wir bieten Ihnen umfangreiche Analysen (bspw. GDMS / GD-MS) für solare und nichtsolare Anwendungen.

Analyse der Spuren- und Ultra-Spurenwerte im ppb-Bereich mit GDMS
  • Elementanalytik und Spurenanalyse mittels Glimmentladungs-Massenspektroskopie (GDMS / GD-MS) mit großem Elementumfang und hoher Nachweisstärke
  • Messung der Ladungsträgerlebensdauer und Photoleitung mittels MDP (microwave detected photoconductivity)
  • Bestimmung der Korngrößenverteilung von zerkleinerten Produkten, Granulaten bzw. Schüttungen mittels Siebanalyse
  • Infrarot-Messung (IR) zur Detektion von Rissen, Einschlüssen und Verunreinigungen
  • Bestimmung des spezifischen Widerstandes und des Leitungstypes
  • Nachweise von Dotierstoffen im Silicium

GDMS (GD-MS) – Glimmentladungs-Massenspektroskopie

Spurenmetallanalyse mittels Glimmentladungs-Massenspektroskopie (GDMS) mit großem Elementumfang und hoher Nachweisstärke im ultrareinen Bereich bis ppb (parts per billion)

Wir analysieren die chemische Zusammensetzung von Proben mit unserer Glow Discharge-Mass Spectrometry. Bei dieser Methode erfolgt die Messung unter Verwendung der Glimmentladungs-Ionenquellen in einem hochauflösendem Massenspektrometer. Feste Proben werden direkt gemessen, feinkörnige Proben werden nach dem Mahlen zu einem Pressling verarbeitet.

Mit unseren hochmodernen GDMS-Messgeräten können wir die Spurenanalytik im Reinstbereich bis zu ppb (parts per billion) abdecken.

  • Bestimmung von Verunreinigungen im Spuren und Ultraspurenbereich
  • Nachweisgrenzen bis in den ppb-Bereich abhängig von Element und Matrix
  • zerstörungsfreie Feststoffanalytik (z.B. in Matrix Silicium)
  • Analyse von Oberflächenverunreinigungen
  • Screeninganalysen durch semiquantitative Methoden
  • Bestimmung von Reinheiten elektrisch leitender Materialien
  • Kontaminationsarme Probenvorbereitung durch Schleifen, Ätzen oder Mahlen und Herstellen von Pulverpresslingen
GDMS – Glimmentladungs-Massenspektroskopie

Mit unserer Erfahrung und unserem Know how sind wir für Sie da! Sprechen Sie uns an – wir unterstützen Sie gern bei der Lösung Ihrer Analysenaufgaben!

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Bilder: eigene Bilder, Analysebild jarmoluk unter Pixabay Licence